滲氦型標準漏孔VTL-A型

滲氦型標準漏孔是利用氦氣對石英大多數玻璃或四氟乙烯有高的滲透性這一特性制作。

關鍵詞：標準漏孔 | MPCVD | 電容薄膜規真空計 | 高低真空校準裝置 | 氦漏孔校準裝置

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滲氦型標準漏孔是利用氦氣對石英大多數玻璃或四氟乙烯有高的滲透性這一特性制作。此類型漏孔對污染不敏感；長時間內漏率穩定；漏率可以做得很小。滲氦型標準漏孔的充裝氣體為氦氣，其漏率范圍一般在10-5-10-13Pa·m3/s之間。此外，滲氦型標準漏孔的示值允許偏差為±15%，溫度補償約為3%/°C，并且具有優異的抗堵塞能力和長時間內漏率穩定的特性，出口閥門為手動(選配)，接口為KF25/M14*1.5(內)或定制，出口為真空，可重復充氣。

年衰減率根據漏率的不同而有所差異，例如，對于10-7Pa·m3/s的漏率，年衰減率小于或等于10%/y;對于10-8Pa·m3/s的漏率，年衰減率小于或等于3%/y;以此類推，直到10-12Pa·m3/s的漏率，年衰減率小于或等于0.1%/y 。10-7Pa·m3/s量級以下的漏孔，正常情況下是不需要關閉出口閥門的，但由于客戶不清楚漏孔的結構，通常會關閉閥門。對于滲氦型漏孔，長時間關閉閥門會積攢一定的氦氣，使得滲透元件的邊界條件遭到破壞，使用時短時間內漏率值會偏大，打開閥門經過一段時間(24小時)平衡后,漏率值會恢復。
滲氦型標準漏孔的應用包括氦質譜檢漏儀校準、作為氦質譜檢漏儀內部標準漏孔、氦質譜檢漏儀最小可檢漏率校準以及實際漏孔漏率的確定等。